在光刻機曝光鏡頭、天文望遠鏡等系統(tǒng)中，為了實現(xiàn)高分辨率，需要形狀精度優(yōu)于1/200 RMS的超高精度光學鏡片。

■加工目標

形狀精度優(yōu)于1/200 RMS                                                            

■適用材料

熔石英、微晶、藍寶石、氟化鈣、硅、碳化硅等

■技術(shù)難點

√中頻誤差抑制                                                                                                         

■應用領(lǐng)域

光刻物鏡、標準器具、天文望遠鏡等