技術特色

非接觸非接觸式加工，不引起疵病，且能有效去除光學表面殘留的金屬離子等污染。

亞納米材料去除分辨率 可實現(xiàn)亞納米量級材料去除分辨率，加工精度極高。

高穩(wěn)定性材料去除穩(wěn)定性24小時內(nèi)優(yōu)于2%，加工確定性好。

自由曲面加工真5軸聯(lián)動，適用于一般高次非球面和自由曲面加工。

產(chǎn)品優(yōu)勢

更低濺射污染

最新一代的離子束拋光機采用了自主研發(fā)的低污染離子源，進一步抑制離子源自身帶來，的濺射污染，滿足用戶對污染控制的極端要求。

更低使用成本

支持進口和國產(chǎn)耗材替換，大幅節(jié)約使用成本。

更高生產(chǎn)效率

軟硬件上支持一盤多片加工，無需反復抽真空，能耗小，生產(chǎn)率高。

更加智能化

可選遠程真空操作控制和一鍵真空抽取功能，更加智能化簡單化。